1.什么是探针卡
探针卡(probe card)又称晶元探针卡,目前晶圆测试厂广泛用于晶圆测试的探针卡为悬臂探针卡及垂直探针卡。探针卡主要由PCB、探针、ring组成,根据不同需求,还会有电子元件、stittenerokx等的需求,是一种用于晶圆测试中被测试芯片和测试机之间的关键接口。广泛应用于内存、逻辑、消费、驱动、通讯IC等科技产品的晶圆测试。包括芯片封装前对芯片的电学性能进行的初步测试,在晶圆进行测试时,测试机台通过探针卡接触晶圆,并传送测试讯号以获取晶圆的电气讯号。
探针卡的使用原理是降探针卡上的探针与芯片上的焊垫或者凸块直接接触,导出芯片讯号,再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测晶圆。它对前期测试的开发及后期量产测试的良率保证都非常重要,是晶圆制造过程中对制造成本影响相当大的重要制程。